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镀铬是泛指电镀铬,镀铬有两种的,一种是装饰铬,一种是硬铬。镀硬铬是比较好的一种增加表面硬度的方法,但它也是有优缺点的,那么精密蚀刻工艺后镀铬又有哪些优缺点呢?
符号的说明:1蚀刻槽;分析装置2循环泵; 3硝酸/磷酸/乙酸浓度分析装置; 4蚀刻材料; 5新的乙酸液罐; 6新的乙酸液供给泵; 7加热装置; 8乙酸浓度的输出信号; 9蚀刻终止废液去除管道; 10个新的蚀刻液(浓度调整磷酸/硝酸/乙酸)引入管道; 11搅拌装置; 12蚀刻废液去除调整和发送输出信号; 13米; 14。为入口信号新蚀刻液; 15个新的蚀刻液罐; 16个新的蚀刻液供给泵。
据此前媒体报道,受中国微半导体自主开发的5纳米刻蚀机正式进入了台积电生产线。虽然与光刻机相比,外界对刻蚀机的认知一定的局限性,但你应该知道,有在芯片制造工艺1000多个工序,刻蚀机是关系到加工的精度。一步法光刻精度。因此,成功的研究和中国微半导体公司的5纳米刻蚀机的发展也意味着我国的半导体领域的重大技术突破。
cl-浓度对蚀刻速度的影响如图5-14所示。从图5-14中可出,当盐酸浓度升高时,蚀刻时间减少。在含有6mol盐酸的蚀刻液中蚀刻速度是在水溶液巾的三倍,并且还能提高溶铜量。但是盐酸浓度不可超过6mol。高于6mol的盐酸浓度随酸度增加。由于同离子效应,使CuCI2溶解度迅速降低,同时高酸度的蚀刻液也会造成对设备腐蚀性增大。
(2)铝青铜和其铝是主要的合金元素。它是所谓的铝青铜的铜基合金。铝青铜具有较高的机械性能比黄铜和锡青铜。铝青铜的实际应用具有5'O75Δnd12和铝的含量?什么是铝青铜的铝含量?作为最好的可塑性,很适合冷加工。当铝含量低于7 2 O 8下是它大,并降低?强度增加,但塑性急剧下降,因此它被铸造或热加工后大多使用。铝青铜,海水,海碳酸盐,最有机酸具有比黄铜和锡青铜更高的耐磨性和耐腐蚀性。铝青铜可以制造高强度耐磨零件,如齿轮,轴衬,蜗轮,和使用高耐腐蚀的弹性部件。
在蚀刻之后,丝网印刷油墨必须被去除。常见抗酸油墨容易溶于碱。被蚀刻的板浸在50-80℃的温度下40-60克/升的氢氧化钠溶液。浸泡几分钟后,墨水可以被删除。
2.形状和工件的尺寸:对于大型工件时,难以进行喷雾由于设备限制蚀刻和气泡的侵入,并且也不会被工件的尺寸的影响。工件的形状是复杂的,并且某些部分将到位,这会影响喷雾期间蚀刻的正常进展。侵入性类型是在蚀刻溶液中,以侵入该工件只要溶液和工件动态维护。它可以确保异构工件的所有部分可以填充有蚀刻液,并用新的和旧的液体连续地更换,以使得蚀刻可以正常进行。
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