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本发明涉及一种金属蚀刻方法，并且更具体地，涉及使用光敏树脂或类似的过程中，液晶元件的基板例如以促进在金属薄膜电极的形式，或金属作为布线的制造工艺一种半导体器件（层）基片蚀刻的所述衬底是合适的处理方法。此外，本发明涉及蚀刻溶液的上述定量分析方法，并从上述的蚀刻溶液中回收磷酸的方法。对于这样的要求，而不是传统上使用的铬（Cr）合金布线的材料，如铬钼，我们讨论了适用于精细蚀刻加工，并能承受的增加的低电阻材料的电功率要求的材料。例如，现在，新的材料，如铝（A1），银，铜等，提出了被用作布线材料，以及这种新材料的微细加工进行了讨论。此外，在这些新材料的蚀刻，蚀刻含硝酸，磷酸和乙酸溶液，通常使用。
2)蚀刻液的种类：不同的蚀刻液化学组分不同，其蚀刻速率就不同，蚀刻系数也不同。例如：酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3，碱性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数可达到4。近来的研究表明，以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀，达到蚀刻的线条侧壁接近垂直。这种蚀刻系统正有待于开发。
精密蚀刻是一种新型的化学处理。这种特殊的化学处理方法作出了现代人类科学技术的发展做出了巨大贡献。在最复杂的航空航天工业，它已成为一种用于制造大的总的结构，例如飞机，飞机，导弹等标准处理方法.;在现代电子工业，尤其是在生产各种集成芯片，精密蚀刻是不可能与其他处理方法。替代。在一般的民用领域，越来越多的电子金属外壳，仪表板，铭牌，精密零件等被精密蚀刻，以提高其产品的装饰和质量，并提高在精密蚀刻产品的市场企业的竞争力处理制作。
使用真空，溅射和其它涂覆技术，涂覆的制品可以增加透光率，导电性，非导电性，耐擦伤性，及油耐污性。它已被100次格试验，铅笔硬度，煮沸试验，高和低温度交替，摩擦试验，透光率试验，应力测试等测试
比较几种形式化学蚀刻的应用; （1）蚀刻板或它的一部分的静态蚀刻并浸入在蚀刻溶液中，蚀刻到某一深度，用水洗涤，然后取出，然后进行到下一个处理。这种方法只适用于原型或实验室使用的小批量。 （2）动态蚀刻A.气泡型（也称为吹型），即，当在容器中的蚀刻溶液进行蚀刻，空气搅拌和鼓泡（供应）。 B.飞溅的方法，所述对象的表面上的喷涂液体的方法由飞溅容器蚀刻。喷涂在表面上具有一定压力的蚀刻液的C.方法。这种方法是相对常见的，并且蚀刻速度和质量是理想的。
华为赶紧买，和台积电的营业收入已经创下了一个纪录。专家：国产已经走错了路。他在六年内回到中国，开始经商。它采用65纳米是5nm的11年后，以打造中国唯一的大型蚀刻机。
因此，在这种情况下，一个纯粹的国内麒麟A710出来吓人。据报道，该芯片的设计是由华为海思进行，而加工和制造由中芯完成。虽然14nm制芯片制造过程中只考虑从目前美国的技术开始的重要性，麒麟A710的突破是在中国芯片发展史上也具有重要意义。
到其它含氟废水处理类似，在水相中的氟通常是固定的，并通过沉淀法沉淀，但面临大量的污泥和高的二次治疗费用。特别是，如何处置与通过在一个合理的和有效的方法腐蚀复杂组合物的废水是行业的焦点。例如，在专利公开号CN 106517244甲烷二氟由从含氟蚀刻废液中除去杂质制备，但是它被直接用于氨的中和，除去杂质，和氨气味溢出可能难以在控制处理;另一个例子是吸附和去除的使用专利公开号CN 104843818螯合树脂偏二氟乙烯，但这种树脂是昂贵的，并且在使用之后需要再生。从经济的观点来看，它一般只适用于低氟废水的处理。现在，含氟蚀刻气体是不可见的“刀”。它被广泛用于半导体或液晶的前端过程。它甚至可以雕刻纳米尺度的沟槽和微米厚的薄膜。它可以由？那么，什么是氟的蚀刻气体？他们如何工作？用于蚀刻的气体被称为蚀刻气体，通常是氟化物气体，例如四氟化碳，perfluorobutadiene，三氟化氮，六氟乙烷，全氟丙烷，三氟甲烷和其它含氟蚀刻气体是电子气的一个重要分支。这是一个不可缺少的原料用于生产超大规模集成电路，平板显示装置，太阳能电池，光学纤维和其它电子行业。它被广泛用于薄膜，蚀刻，掺杂，气相沉积和扩散。和其它半导体工艺。在国家发展和改革委员会“产业结构调整指导目录（2011年版）（修订版）”，电子气体被列为鼓励国家级重点新产品和产业的发展。该蚀刻方法包括湿法化学蚀刻和干式化学蚀刻。干法蚀刻具有广泛的应用范围。由于其强的蚀刻方向，精确的工艺控制，和方便的，没有脱胶现象，无基板损伤和污??染。蚀刻是蚀刻掉经处理的表面，如氧化硅膜，金属膜等等，这是不包括在基板上的光致抗蚀剂，使光致抗蚀剂掩蔽的区域被保留，使得所需成像模式它可以是所得到的基材的表面上。蚀刻的基本要求是，该图案的边缘整齐，线条清晰，图案的变化是小的，和光致抗蚀剂膜和其掩蔽表面是从损伤和底切自由。
中国微半导体公司的创始人是姚仙，医生谁从国外留学归来。回到中国之前，直腰西安曾在半导体芯片产业在硅谷超过20年。他的工作经验和处理是显而易见的。