荔湾蚀刻加工工艺

符号的说明：1蚀刻槽;分析装置2循环泵; 3硝酸/磷酸/乙酸浓度分析装置; 4蚀刻材料; 5新的乙酸液罐; 6新的乙酸液供给泵; 7加热装置; 8乙酸浓度的输出信号; 9蚀刻终止废液去除管道; 10个新的蚀刻液（浓度调整磷酸/硝酸/乙酸）引入管道; 11搅拌装置; 12蚀刻废液去除调整和发送输出信号; 13米; 14。为入口信号新蚀刻液; 15个新的蚀刻液罐; 16个新的蚀刻液供给泵。

2.静态除尘，敏化油喷雾剂，和检查。当由IQC加工的工件是通过检查IQC，它切换到下一个过程：喷涂敏化油，但是因为它是在生产中产生的，静电喷涂必须喷涂敏化油之前进行。在我们的测试中擦拭过程中，该产品将有不同程度的静电。它可以吸附灰尘，所以静电必须被移除。静电消除之后，灰尘不会吸收产品。静电消除后，继续下一个步骤：喷涂敏感的油。喷涂清漆的感觉，主要是在制备预曝光（曝光），产品和致敏油喷雾的过程。在完成加油操作后，产品必须仔细检查。检查的目的是该制品是否燃料喷射过程中与油喷洒。不良现象，如残余油残基。当电路的所选产品，它将流入下一工序：感光（曝光）。

金属冲压工艺的特点：高模具成本，很长一段时间，精度低，成本低，并且大批量;金属蚀刻工艺的特征：低样品板成本，交货快，精度高，并且大量生产成本超过冲压高。

蚀刻工艺是一种新型添加剂过程，这也被认为是冲压，线切割等工序的延伸。冲压是固定模式，线切割是具有可编程设计变更的模式，和蚀刻是可切换的设计，具有很强的可操作性和批量生产。

虽然中卫半导体的刻蚀机制造业已经取得了许多成果，美国在自愿放弃其对中国的禁令在2015年另外，据该报称，中国微半导体于2017年4月宣布，它打破了5纳米刻蚀机生产技术，引领全球行业领导者IBM两周。此外，中国微半导体公司还与台积电在芯片代工厂行业中的佼佼者了合作关系，并与高精密蚀刻机耗材台积电。截至目前，中国微半导体公司的5nm的过程更加完备。这是需要注意的重要的，有信息，中国Microsemiconductor已经开始产品研发到3纳米制造工艺。

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