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1.生产能力：喷雾蚀刻具有高效率，速度快，精度高，其适用于特定的大规模生产。生产容易实现自动控制，但设备投资大，并且它不适合用于蚀刻异型工件和大型工件;蚀刻设备，侵入气泡具有小的投资，并且易于蚀刻和各种工件。
顺便说，三个核心设备在芯片制造过程中的光刻机，蚀刻机和薄膜沉积设备。如果芯片是用于雕刻工作相对平坦，然后光刻机用于绘制一个刷草案中，蚀刻机是一个切割器，并且所述沉积膜是构成工作的材料。
蚀刻以蚀刻掉光刻胶掩模，例如氧化硅膜，金属膜和其他基材的未处理面，使得在该区域中的光致抗蚀剂掩模被保持，从而使所希望的表面可以接地木材图案。用于蚀刻的基本要求是，该图案具有规则的边缘，线条清晰，和图案之间的微小差异，也没有损坏或侵蚀到光致抗蚀剂膜和其掩蔽表面。蚀刻含氟气体是电子气的一个重要分支。这是一个不可缺少的原料用于生产超大规模集成电路，平板显示装置，太阳能电池，并在电子工业中的光纤。它被广泛用于薄膜，蚀刻，掺杂，气相沉积和扩散，和其它半导体工艺。该“指导目录产业结构调整（2011年版）（修订版）”中包含的产品和鼓励类产业，国家发展目录，国家发展和改革委员会，以及电子气体。
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这绝对是值得我们感激，但这项技术突破引领我国芯片产业的快速发展，实现“弯道超车”的效果？我们真的需要冷静思考。
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3.没有外部影响，变形，和平整度在生产过程;生产周期短，应变速率是快速的，并且没有必要计划和制造所述模具;该产品具有无毛刺，没有突起，并且是在两侧的相同的光，并以相同的平面度;
当普通铜被包含在晶界，氢或一氧化碳的氢或一氧化碳容易与氧化亚铜（氧化铜），以产生在还原性气氛的高压水蒸气或二氧化碳气体，这会导致铜以传递热的相互作用反应破解。这种现象通常被称为铜的“氢病”。氧气是有害的铜的可焊性。