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酸性CuCl2蚀刻液主要由CuCl2、NaCL和NH4CL等组成。在这种蚀刻液中,由于CuCL2中的Cu2具有氧化性,将零件表面的铜氧化成Cu+.Cu+和CL-结合成Cu2Cl2,其反应如下:
表调:对工件表面使用钛盐或其它物质进行活化,是该工序之目的,主要作用是增加磷化膜晶体的成核点,提高结晶致密度,减少晶粒尺寸和重量,改善磷化膜的结构。表调工艺的良好,是形成优良磷化膜的重要保证。表调可采用喷淋或浸渍的方式实施。如果采用喷淋,保持表调处理液的浓度十分重要,喷淋时建议采用低压宽口喷嘴,可进行平稳的喷淋而均匀地覆盖工件的内外表面,避免强力的冲击而使表调剂在产生预期作用前被冲走。为使喷淋难以到达的部位能够进行有效的表面调整,我们目前推荐采用浸渍处理的方式。
(1)蚀刻液中cl-浓度对蚀刻速度的影响:在酸性CuCl2蚀刻液中,cu2和cu+都是以络离子状态存在于蚀刻液中。铜由于具有不完伞的d-轨道电子壳,所以它足一个很好的络合物形成体。一般情况下,可形成四个配位键。当蚀刻液中含有大量的cl-时,cu2+是以四氯络铜([CuCl4]2)的形式存在.cu2足以三氯络铜([cucl3]2)的形式存牲。凶此蚀刻液的配制和再生都需要大量的cl参与反麻。同时cl浓度对蚀刻速度同样有直接关系,c1浓度高有利于各种铜络离子的形成,加速了蚀刻过程。
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