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四、如果蚀刻零件尺寸不到位,可以通过加几丝铬来达到尺寸(这是优点,也是个缺点,所以要镀铬的零件都要放余量了)。
较薄的抗蚀剂用于改善润湿性和蚀刻溶液,以调整蚀刻速度。稀释剂的实例包括乙酸,柠檬酸,苹果酸等,用乙酸是优选的。什么是较薄的浓度小于0.1? ?重量,优选大于0.5? ?的重量相对于蚀刻液的总重量计,基于1重量份,更优选大于2,并且特别优选地小于±Y”更大?通常较大。此外,其上限从提高感光性树脂(疏水性)等的表面的润湿性的观点出发来确定,并且成比例地由光敏树脂的表面上,这通常是不确定的??面积来确定。 ? ?重量,优选小于35? ?重量,特别优选小于20? ?正确。更优选地,它是小于10? ?正确。
2.轮廓可分为基本图形。首先,搜索模具库,看看是否有冲压模具即是与大纲完全一致,可与冲压动作被冲出。如果有这样的模具,它会在找到的被忽视的“选择冲压模具”,“作为设定冲压模具和直接使用冲压模具。
表调:对工件表面使用钛盐或其它物质进行活化,是该工序之目的,主要作用是增加磷化膜晶体的成核点,提高结晶致密度,减少晶粒尺寸和重量,改善磷化膜的结构。表调工艺的良好,是形成优良磷化膜的重要保证。表调可采用喷淋或浸渍的方式实施。如果采用喷淋,保持表调处理液的浓度十分重要,喷淋时建议采用低压宽口喷嘴,可进行平稳的喷淋而均匀地覆盖工件的内外表面,避免强力的冲击而使表调剂在产生预期作用前被冲走。为使喷淋难以到达的部位能够进行有效的表面调整,我们目前推荐采用浸渍处理的方式。
对蚀刻质量的基本要求就是能够将除抗蚀层下面以外的所有铜层完全去除干净,止此而已。从严格意义上讲,如果要精确地界定,那么蚀刻质量必须包括导线线宽的一致性和侧蚀程度。由于目前腐蚀液的固有特点,不仅向下而且对左右各方向都产生蚀刻作用,所以侧蚀几乎是不可避免的,但是有效的控制蚀刻时间和药水配兑会减少侧蚀。 侧蚀问题是蚀刻参数中经常被提出来讨论的一项,它被定义为侧蚀宽度与蚀刻深度之比, 称为蚀刻因子。
世界望着刻蚀机制造行业,外资公司仍然占主导地位,但国产刻蚀机不应该被低估。因为有一个蚀刻机公司在中国,花了11年取得成功,从国外摆脱对中国的过程禁令,并逐步从65纳米到5nm的一步。