故障现象 | 产生原因 | 排除方法 |
干膜与基板粘 接不牢 |
干膜储存时间过久,抗蚀剂中溶剂 挥发 |
在低于27X的环境中保存干膜,储存时间不宜超过有 效期 |
基板清洁处理不良,有氧化层、油 污或微观表面粗糙不够 |
加强基板清洁处理,并检查是否有均匀水膜形成;加 强表面微观粗糙化处理 |
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环境湿度太低 | 保持环境湿度为50%左右 | |
贴膜温度过低或传送速度太快 |
调整好贴膜温度和传送速度|,连续贴膜最好把板子 预热 |
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干膜与基板表 面之间出现 气泡 |
贴膜温度过髙,抗烛剂中的挥发成 分急剧挥发,残留在聚酯膜和基板之 间,形成鼓泡 |
调整贴膜温度至标准范围内 |
热压辗表面不平有凹坑或划伤 |
注意保护熱压辊表面的平整,清洁热压辊时不要用坚 硬、锋利的工具去刮 |
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压辊压力太小 | 适当增加两压辊间的压力 | |
基板表面不平有划痕或凹坑 |
挑选板材并注意前面工序加工质量,减少造成划痕, 凹坑的可能 |
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干膜起皱 |
两个热压辊轴向不平衡,使干膜受 扭不均匀 |
调整两个热压辊,使之轴向平行 |
操作不熟练,干膜放置不当 | 平时多加练习,熟练操作技能;放板时多加小心 | |
贴膜温度太高 | 调整贴膜温度至正常范围内 | |
貼膜前基板太热 | 板子预热温度不宜太高 . |