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17年来，中国微半导体宣布其突破性的在5纳米刻蚀机的生产技术，导致了美国巨头IBM2，这使得中国微半导体完成对技术经理从技术追随者的变化。此外，中国微半导体赢得了台积电等厂商的订单。在这一年，中国微半导体公司工作的1.947十亿人民币的收入，而每个蚀刻机的价格达到2000万元。
2017年，公司成功开发了5纳米等离子刻蚀机。这是半导体芯片的第一国产设备，并且它也是世界上第5纳米蚀刻机。
关于功能，处理和热粘接的产品特性。正被处理的产品的名称：热扩散焊接。材料特定产品：SUS304不锈钢。材料厚度（公制）：厚度的任何组合可叠加。
蚀刻机的5纳米制程技术已成功测试，等离子刻蚀机技术的开发。它使在5纳米芯片工艺过程中的一个重大突破，并通过台积电，全球最大的晶圆代工厂得到了验证。台积电已经计划使2019年试生产的5nm的工艺芯片最早始于第三季度，批量化生产，预计在2020年得以实现。
1.大多数金属适合光刻，最常见的是不锈钢，铝，铜，镍，镍，钼，钨，钛等金属材料。其中，铝具有最快的蚀刻速率，而钼和钨具有最慢的蚀刻速率。