尹志尧一直在硅谷在美国多年,并已获得了超过60专利。他是在美国这样一个中国人。他早就想用的东西,他已经学会了推动中国科技的发展。虽然路回中国并没有那么顺利,最终,尹志尧带领30个多名精英回到中国发展5纳米刻蚀机的技术。
简单地说,所谓的蚀刻机是一种设备,必须在芯片生产过程中使用。该设备的功能就像是雕刻的刀。它采用各种方法把一个完整的金属板进入美国。不必要的部分被删除,剩下的就是我们所需要的电路。蚀刻机的最终目标是连续地挖掘出金属板表面的不需要的部分。为了达到上述目的,化学物质被用于在第一位置到挖掘这些物质。毕竟,化学品可以在金属板上,这是非常快速和方便的反应,但也有一个大的问题:液体腐蚀难以在所有方向上控制的。为了使图像,你可以停止板的洪水?答案是否定的,因为水会绕过这个板。有许多缺点,使用的化学品腐蚀的金属表面。药液绕过覆盖晶片表面和腐蚀的部分光刻胶,我们不希望被腐蚀。如果电路我们需要的是非常微妙的,那么这多余的腐蚀肯定会影响电路的性能。
据报道,该等离子体刻蚀机是在芯片制造的关键设备。它用于在芯片上的微雕刻。各条线和深孔的加工精度是从千分之几到几万头发的直径。他们中的一些要求非常高的控制精度。
在蚀刻多层板内层这样的薄层压板时,板子容易卷绕在滚轮和传送轮上而造成废品。所以,蚀刻内层板的设备必须保证能平稳的,可靠地处理薄的层压板。许多设备制造商在蚀刻机上附加齿轮或滚轮来防止这类现象的发生。更好的方法是采用附加的左右摇摆的聚四氟乙烯涂包线作为薄层压板传送的支撑物。对于薄铜箔(例如1/2或1/4盎司)的蚀刻,必须保证不被擦伤或划伤。薄铜箔经不住像蚀刻1盎司铜箔时的机械上的弊端,有时较剧烈的振颤都有可能划伤铜箔。
当使用铝作为待蚀刻的金属,它必须从0被除去以铝3.。电离它。当比较银(一个值),或铜(二值),在蚀刻液中的酸被消耗,因为蚀刻速率显著降低。这里有一个问题在这里,它是蚀刻速率难以控制。因此,在分批方法如浸渍,一旦蚀刻剂的蚀刻速率大于一定值时,即使蚀刻剂具有最高的蚀刻能力,它通常被完全丢弃并用一个新的蚀刻剂替换。所谓的蚀刻剂的使用和浪费是非常大的。本发明的第四点是,它不包括用于通过蚀刻电离蚀刻金属蚀刻剂的定量分析方法。它包括硝酸和磷酸,并且不包括金属电离蚀刻。在金属蚀刻处理中使用的特征是,硝酸的浓度是通过紫外吸收分光光度法定量的蚀刻溶液的定量分析方法,和磷酸的浓度是干燥由混合酸溶液后定量,并用乙酸结合中和滴定法。浓度的浓度从硝酸当量的总酸当量减去并且从酸当量计算。
这种方法通常被用于蚀刻处理,并且生产效率高:因为没有必要使模具中,只需要编译程序。后来的任务,时间和精力将被保存。它可以启动,以避免影响生产调整,它是可以改变的前一分钟。无论简单或凌乱的加工形状的,处理成本是相同的,所花的时间基本相同。处理速度能基本相匹配的数字印刷的速度,并且其可以被连接到机器用于生产。钢筋锈蚀这种方法通常用于蚀刻工艺的经济效益:是否有必要准备,处理任务的规模,业务来源将扩大模具。在传统模切过程中,有不仅各种核(如平坦压制,轮压制,冲压,穿孔,压痕,等),但支撑的东西也凌乱,现在可以省略。
3.激光蚀刻方法的优点是,所述线性边缘整齐,不存在侧面蚀刻现象,但成本非常高,大约两倍的化学蚀刻法。当打印在印刷电路板工业的焊膏,大多数所使用的不锈钢筛网的通过激光蚀刻。
金属表面预处理,所谓预处理,是指对某种金属材料在进行防蚀层制作前或蚀刻前的预先加工处理过程。 其目的是为某种金属材料提供一个表面状态一致的基准,然后在这个基准上再进行后续加工过程。 预处理质量的合格与否,将直接影响到金属蚀刻的最终质量。表现得最为突出的就是经预处理后工件表面与防蚀层之间的附着力关系,只有经过良好预处理的工件才能制作出满足蚀刻要求的防蚀层。同时,预处理也是金属蚀刻最先进行的工序,只有良好的开端才会有满意的结果。本节将对金属表面预处理所包括的各个工序及步骤逐一展开讨论。