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蚀长安蚀刻铝刻液氢氟酸(HF)

文章来源:蚀刻加工时间:2020-08-27 点击:

高埗腐蚀加工 将干燥后的萤石粉和H2SO4按配比1(1.2~l.3)混台,送入回转式反应炉内进行反应.炉内气相温度控制在(280±10)℃。反应后的气体进入粗馏塔,除_去大部分H2SO4、水分和萤石粉,塔釜温度控制在100℃~110℃,塔顶温度为35℃~40℃。粗HF气体再经脱气塔冷凝为液态,塔釜温度控制在20℃一23℃,塔顶温度控制在(-8±1)℃。然后进入精馏塔精馏,塔釜温度控制在30℃-40℃,塔顶温度控制在(19.6±0.5)℃。精馏后的

HF气体用水吸收,即得氢氟酸产品,其反应式如下:

CaF2十H2S04=HF+CaS04

氢氟酸为无色澄清的发烟液体,有刺激性气味,为中等强度的酸。腐蚀性极强,极易挥发.置于空气中即发白烟。

氢氟酸对金属的腐蚀性极强,通常表现为严重的均匀腐蚀,生成可溶性的氟化物,只有少数金属在室温下能生成较难溶的氟化物。

氯氟酸主要用来对钛及合金及难溶高合金钢的化学腐蚀。是钛及半导体加工中硅晶片的唯一腐蚀剂。但如单独用氢氟酸对钛合金进行腐蚀加工,会使钛合金吸收大_量的氢而产生不可逆转的氢脆,所以在实际应用中,都是和HNO3、Cr03等氧化性酸配合使用。

6HF+Ti—H2nF^十2H2f (4 71)

3Ti+30HF+4CrO3==3H2TiF6+4crn十12H20

Ti+6HF+4HN03一H 2nR十一CN02十41t20

氖氟酸和HNO,配合也用于铸造铝合金的酸洗

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