高埗蚀刻铝蚀刻因子测试方法

1.准备事项:

A.测试实验板:尺寸:20×14,各4PNL

(1).0.5oz铜厚基板+ΙCu厚度;

(2).1oz铜厚基板+ΙCu厚度;

(3).2oz铜厚基板+ΙCu厚度;

B.线路菲林:具不同线宽线距之全板纵横分布,包含3/3?4/4?5/5?6/6?7/7?8/8?9/9?10/10(mil/mil).

C.测量工具:50倍放大镜一个(带刻度),微切片分析仪一套.

2.实验过程:

以上述实验板规格和线路菲林依负片流程作业(包括影像转移和电镀二铜及锡铅)直至走完蚀刻线.

3.测试数据记录:

分别以不同速度蚀刻不同铜厚的板子,先用50倍放大镜观察蚀刻前后的侧蚀量及毛边量,再选取具代表性线路位置做切片测试蚀刻因子.

4.要求:蚀刻因子大于2.一般控制在3~5.

5.蚀刻因子E之计算:E=2H/(A-B)

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