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溢格蚀刻加工

干膜光致抗蚀膜常平蚀刻加工的厚度

文章来源:蚀刻加工时间:2020-08-27 点击:

企石蚀刻加工 在产品说明书上都会标出光致抗蚀膜层的厚度(注意是光致抗蚀膜层的厚度,而不是包括聚酯膜和聚乙烯膜的整个干膜厚度),可根据不同的需要选择不同厚度的感光膜。精细强文可选用光致抗蚀层厚度为25um的下膜;图形电镀可选用光致抗蚀层厚度为38µm的干膜;需要进行遮避的孔或需要长时间蚀刻的场合,可选择光致抗蚀层厚度为50µm的干膜。干膜厚度的尺寸公差技术要求见表3—6。

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