东坑蚀刻加工 图中h1、h2h3为三个台阶的深度，h为零件总厚度。D1、D2、D3、D4为相应各台阶的尺寸，D为零件总长度。零件总长D和零件总厚度h已机械加工完成。

要完成如图1-9所示零件的加工，首先要通过实验确定材料的蚀刻速度和侧蚀率。先找一件和被腐蚀零件材料完全一致的样板，经清洁处理后涂上防蚀层。待防蚀层完全干燥后再在防蚀层上开一合适的窗口，并准确测量记录下窗口的尺寸。放人腐蚀液中进行腐蚀实验，经过规定时间腐蚀后(设定蚀刻叫间为t，单位：min)取出零件，清洗干净除去防蚀层，烘十后，再准确测量腐蚀深度及腐蚀后的窗口尺寸。如图I-10所示。

这一工作如果为了获得更精确的数据，可同时用多块试件进行试验。在试验时，可分两部分进行：①温度不变，改变腐蚀剂的浓度，其变化范围取中心值的±10％、±15％、±20％，这一方法主要是测试在温度恒定的情况下，腐蚀剂浓度的变化对蚀刻速度及侧蚀率的影响。这几组数据的蚀刻速度及侧蚀率越接近，越说明腐蚀剂组成及浓度的配合越合理。②腐蚀剂浓度保持小变，改变腐蚀剂的温度，因为在常通情况下，温度每变化约12度蚀刻速度增加或减少一倍，所以其变化范围取中心值的±3度、±6℃、±9度，这一方法主要是测试腐蚀液在浓度一定的情况下，腐蚀温度对蚀刻速度及侧蚀率的影响。通过以上两方面的试验，再从这些实验数据中优选出最佳腐蚀剂浓度范围及温度变化范固。

得到了以上腐蚀实验数据后，就可以根据这些数据来进行对例5所示的多台阶腐蚀过程的设计。从图1 9的多台阶结构来看，要经过三次腐蚀才能完成。在完成这三次腐蚀的过程中，有两种方式可以选择：①先腐蚀h1，再腐蚀h2最后腐蚀h3②先腐蚀加，再腐蚀h2，最后腐蚀h1。这两种不同的腐蚀方法最后所得到的多台阶边缘几何形状亦有所不同，且腐蚀过程设计亦不相同，现详细讨论如下：

在设计腐蚀过程之前，先来设定图中的有关尺寸，设：h1=2.5mm,h2=1.5mm：h3=2.5mm；D1=100mm；D2=165mmD3=120mm；D4=175mm。累计公差±0 05mm.

方法一：

在这一方法巾完全可以套用以上例4中的方法进行设计，因为每一次腐蚀都可以看成是如上例所示的简单腐蚀方法的重复。其详细过程如下：

工序一：零件首先经过脱脂处理，以除去零件表面各种污物，保证零件表面对防蚀层有极好的附着性。零件经清洗涂防蚀层，并彻底干燥后。划升hl的窗口，在划开hl处的窗口时，要注意，水平方向的层下腐蚀量，h1处的实际腐蚀窗口为Dl的尺寸加上层下腐蚀量以外的部分：l00+(2.5×0.678)=101.695mm，取10l.7mm蚀刻时间t1=2.5／0.0513≈48.7min，取49min。如图1一11所示。

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