石碣腐蚀加工基板的清洗与表面处理(對於較小的平面工件，可直接采用絲印的方式完成塗布的工序，但對於大面積，絲印無法進行的產品只能采用直接在工件表面塗布顯影。)---->涂布---->热风预烘---->曝光---->顯影---->補光固化---->干燥---->蚀刻---->脱墨---->後制作

1.基板的清洗与表面处理

目的：除去工件表面的防銹油、潤滑油、乳化液及工作人員分泌的汗漬油脂等。

成份組成：氫氧化鈉、碳酸鈉等鹼性物質及十二烷基苯磺酸鈉等。

脫脂不完全會影響後面塗布工序中保護膜與工件的接合力，以致在蝕刻過程中保護膜脫落造成工件的損壞。

2.涂布

涂布感光油墨。

　　可以采用滿版印刷、刷塗、滾塗或噴塗的方式，對油墨塗層的均一性要求不是很高，只要能保證塗層能夠在蝕刻時對產品需保護部位得到充分的保護。

此工序和制作網板中的塗布工序差不多，只是制作網板是在網砂上塗感光油墨，而金屬蝕刻是直接在工件表面塗布。

4.3 热风预烘干

热风预烘干（30-40℃，10-15分）

目的只是防止曝光時感光油墨粘住菲霖。要在暗室中進行操作。

4 曝光

高压汞灯、碘镓灯、金属卤素灯。

時間：二十秒左右，抽真空；根據工件的精度要求適當調整曝光時間。精度要求越高，曝光時間要適當縮短

5.顯影

對於水性感光油墨，可采用1%碳酸钠水溶液或直接用清水，温度25-30℃，手工显影或喷射显影。

對於油性感光油墨，可采用有機溶劑進行手工显影或喷射显影。

6.補光固化

增加固化膜对底材的结合力，提高耐蚀刻性能。

采用高压汞灯照射 或用紫外光照射，照射時間的長短要根據各自油墨的不同特性來決定，時間太長，油墨老化，結合力不好導致不能很好保護工件，時間太短，固化效果不好，結合力也不好，也不能很好保護工件。

7.干燥

干燥　90-110℃/5-10分，增加固化膜对底材的结合力，提高耐腐蚀或耐电镀性能。

若要永久保留固化膜，可进行140-160℃/30分钟以上热烘烤

8. 蚀刻

1).化学蚀刻

蝕刻液一般都是強酸或強碱。盡可能使反應快速完成，一般蝕刻速度為0.04mm/分鐘，蝕刻速度越快，側蝕的程度就越小，所得到的工件精密度就越高。

2).电化學蚀刻

把工件做陽極，在電解液中通電，工件上未被保護部位因作陽極而溶解，從而達到蝕刻的目的。电化學蚀刻的蝕刻速率一般由工件表面的電流密度來控制。

9.脱墨