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溢格蚀刻加工

蚀刻技长安蚀刻铝术及蚀刻液的分析

文章来源:蚀刻加工时间:2020-08-27 点击:

南城蚀刻加工 蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可分为湿蚀刻和干蚀刻,在湿蚀刻中使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,而干蚀刻通常是一种等离子体蚀刻,其作用可能是等离子体撞击芯片表面的物理作用,或者可能是等离子体活性基与芯片表面原子间的化学反应,甚至也可能是两者的复合作用。

1. 晶圆蚀刻
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