白云锰钢蚀刻技术
金属表面预处理,所谓预处理,是指对某种金属材料在进行防蚀层制作前或蚀刻前的预先加工处理过程。 其目的是为某种金属材料提供一个表面状态一致的基准,然后在这个基准上再进行后续加工过程。 预处理质量的合格与否,将直接影响到金属蚀刻的最终质量。表现得最为突出的就是经预处理后工件表面与防蚀层之间的附着力关系,只有经过良好预处理的工件才能制作出满足蚀刻要求的防蚀层。同时,预处理也是金属蚀刻最先进行的工序,只有良好的开端才会有满意的结果。本节将对金属表面预处理所包括的各个工序及步骤逐一展开讨论。
铜铜是工业纯铜。其熔点为1083℃,不存在同素异形变化的,其相对密度为8.9,这是五倍镁。这是约15? Eavier比普通钢。它有一个玫瑰红的颜色,并且当所述表面上形成的氧化膜,它通常被称为红色铜和是紫色的。它是铜,它含有一定量的氧气,因此它也被称为含氧铜。红色铜箔评出了紫红色。它不一定是纯铜,有时材料和属性添加到改善脱氧元素或其他元素的量,所以它也被分类为铜合金。中国铜加工材料可分为四种类型:普通铜(T1,T2,T3,T4),无氧铜(TU1,TU2和高纯度,真空无氧铜),脱氧铜(TUP,TUMn),和特殊的铜合金小类型(铜砷,碲铜,银铜)。铜的电和热导率是仅次于银,并且它广泛用于电和热设备的制造。紫铜在大气中良好的耐腐蚀性,海水和某些非氧化性酸(盐酸,稀硫酸),碱,盐溶液和各种有机酸(乙酸,柠檬酸),而在化学工业中被用于。此外,铜具有良好的可焊性和可制成各种半成品和成品通过冷和热塑性加工。这时在上世纪70年代,紫铜的产量超过其他类型的铜合金的总产量。在紫铜微量杂质对铜的导电和导热性造成严重影响。其中,钛,磷,铁,硅等显著降低导电性,而镉,锌等的影响不大。氧,硫,硒,碲等具有在铜非常低的固溶度,并且可以形成具有铜化合物,这对导电性更不易碎的影响,但可以减少治疗的可塑性。当普通铜被包含在晶界,氢或一氧化碳的氢或一氧化碳容易与氧化亚铜(铜氧化物)相互作用,以产生在还原性气氛的高压水蒸气或二氧化碳气体,这会导致铜以通过热反应破解。这种现象通常被称为铜的“氢病”。氧气是有害的铜的可焊性。
阳极氧化:一个常见阳极氧化过程中,例如铝合金。阳极化是金属或合金的电化学氧化。电化学原理用于形成所述金属的表面上的氧化膜,从而使工件的物理和化学性能能满足要求。
现在,中国微电子自主研发的5纳米等离子刻蚀机也已经批准台积电并投入生产线使用。虽然没有中国的半导体设备公司已经成功地在世界上进入前十名,事实上,在许多半导体设备领域,中国半导体企业都取得了新的技术突破,特别是在芯片刻蚀机领域。实现了世界领先的技术。
4)蚀刻液的PH值:碱性蚀刻液的PH值较高时,侧蚀增大。峁见图10-3为了减少侧蚀,一般PH值应控制在8.5以下。
在连续的板子蚀刻中,蚀刻速率越一致,越能获得均匀蚀刻的板子。要达到这一要求,必须保证蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在最佳的蚀刻状态。这就要求选择容易再生和补偿,蚀刻速率容易控制的蚀刻液。选用能提供恒定的操作条件和对各种溶液参数能自动控制的工艺和设备。通过控制溶铜量,PH值,溶液的浓度,温度,溶液流量的均匀性(喷淋系统或喷嘴以及喷嘴的摆动)等来实现。
该产品的主要用途:IC引线框架是一种集成电路,其是在芯片的内部电路和由接合材料(金线,铝线,外部引线,铜线)的设备来实现芯片在芯片载体引线的内部电路前端和上述外引线以形成电路之间的电连接键结构体
镀铬是泛指电镀铬,镀铬有两种的,一种是装饰铬,一种是硬铬。镀硬铬是比较好的一种增加表面硬度的方法,但它也是有优缺点的,那么精密蚀刻