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布吉腐刻加工_铝网蚀刻

文章来源:蚀刻加工时间:2020-09-18 点击:

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蚀刻是蚀刻掉经处理的表面,如氧化硅膜,金属膜等等,而不是由在基板上的光致抗蚀剂被掩蔽,从而使光致抗蚀剂掩蔽的区域被保留,使得期望的成像模式可是所得到的基材的表面上。蚀刻的基本要求是,该图案的边缘整齐,线条清晰,图案的变化是小的,和光致抗蚀剂膜和其掩蔽表面是从损伤和底切自由。

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干法蚀刻也是目前的主流技术蚀刻,这是由等离子体干法蚀刻为主。光刻仅使用上的图案的光致抗蚀剂,但也有是在硅晶片上没有图案,所以干蚀刻等离子体用于蚀刻硅晶片。

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式中:£为指定浓度下的电极电位;E。为标准电极电位;n为得失电子数;[cu‘’】为二价铜离子浓度;[cu‘]为亚铜离子浓度。

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