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影响蚀刻工艺质量的因素有哪些

文章来源:蚀刻加工时间:2020-10-10 点击:

近年来,蚀刻技术越来越受到大家的喜爱,而蚀刻工艺也越来越受到大家的喜爱。但是,有些蚀刻加工工艺的质量不是很明显,有些很好。为什么呢?不知道没关系。溢格小编一起教大家,影响蚀刻加工工艺质量的具体因素是什么?感兴趣的朋友可以看看。

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1. 刻蚀工艺的方法:浸渍和鼓泡刻蚀会形成较大的侧刻蚀,喷淋和喷淋刻蚀会形成较小的侧刻蚀,特别是喷淋刻蚀效果特别好。

不同的蚀刻液:不同的蚀刻液有不同的化学成分,其蚀刻速率不同,蚀刻工艺的蚀刻系数也不同。例如,酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3,碱性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数可达4。近年来的研究表明,基于硝酸的刻蚀系统几乎可以实现无侧刻蚀,且到达刻蚀线的侧壁接近垂直。这种蚀刻系统尚待开发。

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