而蚀刻刀模的影响极大地受图案间距和图案形状的影响。需要考虑线补偿的更多细节,增加不同间距和特殊图案之间的补偿量,增加段补偿的等级,以帮助蚀刻均匀性和减少蚀刻毛刺。那么有什么办法减少?如下几点:
1、根据图形和线距进行分多段补偿,加大密集和非密集线补偿比例,密集线和特殊图形,如梳型、弧形、尖角等,这些都容易出现蚀刻毛边过大,所以需加大补偿;
2、可分两次或两次以上蚀刻,每次蚀刻调整放刀模方向,包括正反面,按不同方向放板可以使喷咀从更多方位角度去喷射药液来改善密集和特殊图形蚀刻毛边,此方法也适应酸性蚀刻。