石碣蚀刻铝
光刻技术目前研究的热点是将光刻光源的波长推向极短波长，而美国马里兰大学的一个研究小组则在研究一种基于可见光波长的多光子光阻胶技术，这种光刻技术可以实现纳米级的光刻解析度，其解析度与曝光时间成反比。
