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干法蚀刻也是目前的主流技术蚀刻，这是由等离子体干法蚀刻为主。光刻仅使用上的图案的光致抗蚀剂，但也有是在硅晶片上没有图案，所以干蚀刻等离子体用于蚀刻硅晶片。
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蚀刻：蚀刻也被称为化学蚀刻。蚀刻可以产生精细的表面纹理和在工件非常细的孔。目前，在中国的微孔和国外的定义是：用直径0.1-1.0 RAM的孔被称为一个小洞，并且具有直径小于01毫米的孔称为微孔。随着新兴微电子工业，微机械和微电子机械系统的行业，越来越多的零部件和快速发展？作为该键结构体的微孔，该孔尺寸越来越小，和精度要求越来越高。例如，冷却航空发动机的涡轮叶片，宝石轴承孔，电子显微镜光栅，PCB微孔板，聚合物复合材料的孔，金刚石拉丝模，喷丝头的孔进行精密化学纤维，RP技术快速成型设备的孔，光纤连接器的喷嘴，高端燃料产品，例如燃料喷射器，打印机喷墨孔，红细胞的过滤器，微射流和微泵具有精细的结构。这些产品的工件材料大多金属合金材料，具有大的纵横比的微孔和特征大小为50个100微米之间。
它可以用于制造铜板，锌板等，并且也被广泛使用，以减轻重量为仪表板和薄工件，这是难以通过的知名品牌和传统工艺最早平面加工方法进行打印;经过不断的改进和工艺设备随着时代的发展，它也可以被用来处理精密金属蚀刻产品用于航空航天电子元件，机械，化学工业等行业。尤其是在半导体制造过程中，蚀刻是一种不可缺少的技术。
一般蚀刻后配合冲压。也就是说，蚀刻可以依照冲压的模具设计成相应的模具冲压定位点。比如，成形，折弯的定位孔，可以在蚀刻时一并加工完成。还有一些连续模冲压的问题，也可以让蚀刻产品做好相应的定位。这样就很好的解决了蚀刻后配合冲压的问题。两种工艺相得益彰！互补互助，在市场上得到了广泛的应用。
3.激光蚀刻方法的优点是不存在线性的和直的边缘蚀刻，但成本非常高，这是化学蚀刻的两倍。当在印刷电路板上印刷工业焊膏，最广泛使用的不锈钢网是激光蚀刻。
的不锈钢蚀刻精度的概念是很一般的，因为所使用的蚀刻材料有：不锈钢，铜，铜合金，钼板，铝板等。蚀刻精度将取决于所使用的材料而变化。
1 减少侧蚀和突沿，提高蚀刻系数侧蚀产生突沿。通常印制板在蚀刻液中的时间越长，侧蚀越严重。侧蚀严重影响印制导线的精度，严重侧蚀将使
当曝光不充分，由于单体和粘合剂膜的溶胀和不完全聚合，线路的不明确它成为在开发过程中柔软，颜色晦暗，或甚至脱胶，膜翘曲，出血，或在蚀刻工艺期间，即使剥离;过度曝光会引起这样的事情是难以开发，脆的膜，和残留的胶。曝光将产生图像线宽度的偏差。曝光过度会使图形线条更薄，使产品线更厚。根据发达晶片的亮度，所述图像是否是清楚，无论是膜时，图像线宽度是相同的原始的，参数如曝光机和感光性能确定最佳曝光时间。不锈钢蚀刻系统的选择：有两个公式不锈钢蚀刻溶液。其中之一是，大多数工厂蚀刻主要用于在蚀刻溶液中主要是氯化铁，并且根据需要，以改善蚀刻性能可以加入一些额外的物质。
现在，中国微电子自主研发的5纳米等离子刻蚀机也已经批准台积电并投入生产线使用。虽然没有中国的半导体设备公司已经成功地在世界上进入前十名，事实上，在许多半导体设备领域，中国半导体企业都取得了新的技术突破，特别是在芯片刻蚀机领域。实现了世界领先的技术。