常平蚀刻加工 感光性包括感光速度、曝光时间宽窬度和深度曝光特性等指标。 (I)感光速度:感光速度是指光致抗蚀剂在紫外光照射下,光聚合单体产生聚合反应,形成具有一定抗蚀能...
石龙蚀刻加工 (1)显影性:干膜的显影性是指下膜按最佳工作状态贴膜、曝光及显影后所获得图文效果的好坏,即图文应是清晰的,未曝光部分的感光胶层应去除干净无残胶。曝光后留在...
虎门蚀刻加工 分辨率是指在1mm的距离内,十膜抗蚀剂所能形成的线条(或间距)的条数,分辨率也可以用线(或间距)的绝对尺寸的大小来表示,分辨率也可称为解像度。干膜的分辨率与抗...
石龙蚀刻加工 技术要求规定,光聚台后的干膜抗蚀层,应能耐Fecl 3 蚀刻液、(NH 4 ) 2 s 2 0 3 蚀刻液、酸性cucl2蚀刻液、H 2 SO 4 一H 2 O 2 蚀刻液的蚀刻。在上述蚀刻液中当温度为50℃~550℃...
厚街腐蚀加工曝光后的干膜,经蚀刻或电镀后,可以在强碱溶液中除去。一般采用3%~5%的NaOH溶液,除膜韫度50℃~60℃,以机械喷淋或浸泡方式去除。去膜速度越快越有利于提高生产...