企石蚀刻加工 液体光致抗蚀剂的工艺流程:基板前处理-涂覆一烘烤一曝光一显影-图形转移效果自检-干燥-蚀刻或图形电镀-去膜。 1.基板前处理 基板前处理方法及要求和前述下膜工艺...
厚街蚀刻铝 液体光致抗蚀剂主要采用丝网印刷方式进行涂覆。使用不同网目的丝网可得到不同厚度的膜层,如用200目的丝网,丝网印刷后的膜层厚度为(122)um;选用100目一150目的丝网,...
东坑蚀刻加工 一定厚度的防蚀层对电镀和蚀刻加工非常重要,防蚀层厚度与抗蚀性、抗电镀性及电镀层边缘的平直性能成正比关系。越厚的抗蚀层,具有更高抗腐蚀剂强度的能力和抗电...
道滘腐蚀加工 烘烤时间和韫度,不同型号的液体光致抗蚀剂有不同的要求,可参照其相应的产品说明书和具体生产实践来决定。烘烤方式分烘道式和烘箱式两种,使用烘箱时,烘箱一定...
高埗腐蚀加工 液体光致抗蚀剂的感光有效波长为300um~400mum,因此用于干膜曝光的设备亦可用于湿膜曝光,曝光能最100MJ/cm2~300MJ/cm2。因烘烤后的硬度还不足1H,因此在曝光定位时需...